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机译:真空封装低功耗谐振MEMS应变传感器
Do, Cuong Danh; Erbes, Andreja; Yan, Jize; Soga, Kenichi; Seshia, Ashwin Arunkumar;
机译:MEMS谐振压力传感器封装的真空粘合和应力隔离
机译:基于晶圆级真空封装的MEMS谐振器的高分辨率应变传感器的制造
机译:具有片上应变放大机制的真空包装谐振MEMS应变传感器的敏感性增强
机译:使用焊料的MEMS真空密封包装
机译:基于晶圆级MEMS真空封装的具有全玻璃电互连的高Q共振压力微传感器
机译:真空封装的低功耗谐振mEms应变计
机译:MEMS气体传感器,MEMS气体传感器安装体,MEMS气体传感器封装,MEMS气体传感器组件以及MEMS气体传感器的制造方法
机译:使用硅化物键合在真空状态下封装MEMS设备的方法和使用相同方法在真空封装的MEMS设备上进行包装的方法
机译:在真空状态下包装MEMS器件的方法和使用相同方法的真空包装的MEMS器件
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